シリコンナノ構造はバルクシリコンでは不可能であった新たな物性を出現させることができます。ナノシリコン構造の作製からデバイス構造の作製までを研究してます。また、酸化物薄膜などを2次電池への応用も行っています。
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大学院生の募集
材料作製、デバイス応用、機械学習など幅広い分野の研究を行っています。
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kato.shinya[アット]nitech.ac.jp
シリコンナノ構造はバルクシリコンでは不可能であった新たな物性を出現させることができます。ナノシリコン構造の作製からデバイス構造の作製までを研究してます。また、酸化物薄膜などを2次電池への応用も行っています。