ナノシリコンで創エネ・畜エネを実現
名古屋工業大学 加藤慎也研究室
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2021.05.132025.04.02

薄膜作製

  • 3元RF+DCスパッタ装置
  • 電子ビーム蒸着装置
  • 大気圧グローブボックス
  • 精密ディップコーター
  • スピンコーター
  • プラズマクリーナー
  • バルク作製装置

  • グローブボックス付き放電プラズマ焼結装置
  • ブレードソー
  • 精密研磨装置
  • 加熱装置

  • 赤外線ゴールドイメージ炉
  • 管状炉
  • 粉体作製

  • ビーズミリング
  • 超音波ホモジナイザー
  • 遠心分離機
  • ようかい君
  • 大気圧型グローブボックス(リチウムイオン電池用)
  • 真空置換型グローブボックス(材料計量用)
  • 構造評価

  • デジタルマイクロスコープ
  • SEM・EBIC付き
  • 電気評価

  • ソーラーシミュレーター
  • マルチポテンショスタット
  • ソースメジャーユニット
  • 燃料電池用の接触抵抗測定装置
  • 熱電3物性測定装置
  • その他評価

  • ゼータ電位・粒形評価装置
  • 比表面積・細孔分布測定装置
  • 接触角評価装置
  • 光学特性評価

  • 紫外可視近赤外分光ー
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