ナノシリコンで創エネ・畜エネを実現
名古屋工業大学 加藤慎也研究室
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スピンコーター
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2021.05.14
溶液を高速回転させることにより発生する遠心力を利用して薄膜をつくる装置です。
PECVD+スパッタ装置
精密ディップコーティング
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