Apparatus

2021.05.13

薄膜作製

  • ３元RF＋DCスパッタ装置
  • 電子ビーム蒸着装置
  • PECVD+スパッタ装置
  • 精密ディップコーター
  • スピンコーター
  • プラズマクリーナー

    • バルク作製装置

  • グローブボックス付き放電プラズマ焼結装置
  • ブレードソー
  • 精密研磨装置

    • 加熱装置

  • 赤外線ゴールドイメージ炉
  • 管状炉

    • 粉体作製

  • ビーズミリング
  • 超音波ホモジナイザー
  • 遠心分離機
  • ようかい君

    • 構造評価

  • SEM
  • デジタルマイクロスコープ
  • SEM・EBIC付き

    • 電気評価

  • 半導体パラメターアナライザー(曽我研)
  • 太陽電池特性測定装置
  • LCRメーター(曽我研)
  • ソーラーシミュレーター
  • マルチポテンショスタット
  • ソースメジャーユニット
  • 燃料電池用の接触抵抗測定装置
  • 熱電３物性測定装置

    • その他評価

  • ゼータ電位・粒形評価装置
  • 比表面積・細孔分布測定装置
  • 接触角評価装置

    • 光学特性評価

  • 紫外可視近赤外分光ー
  • ラマン分光(曽我研)
  • FTIR(曽我研)
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